1. 主要用途：

該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下實(shí)現(xiàn)工藝，PECVD系統(tǒng)

能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光相對(duì)均勻等效，很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn)，有助于粉

料的燒結(jié)更均勻，可大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0-35°之間，所有物料經(jīng)過(guò)的管道都選用非金屬材質(zhì)，如：進(jìn)出料腔體選用石

英材質(zhì)，推料桿選用石英及聚四氟材質(zhì)。

2.結(jié)構(gòu)與原理圖：

                                             結(jié)構(gòu)圖

設(shè)備組成：加熱系統(tǒng)，Plasma系統(tǒng)，進(jìn)料系統(tǒng)，出料系統(tǒng)，氣體控制系統(tǒng)，低真空系統(tǒng)，氣料分離系統(tǒng)，過(guò)濾系統(tǒng)，爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，電控操作系統(tǒng)。

（1）加熱系統(tǒng)：

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研

究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電

壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無(wú)須操作人員的干預(yù)，可

自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

（2）Plasma系統(tǒng)：

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根

本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

（3）進(jìn)料系統(tǒng)：

送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體傾斜大時(shí)，物料不會(huì)從送料系統(tǒng)外漏，送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸后可手動(dòng)加料，設(shè)備可正常運(yùn)行。

（4）出料系統(tǒng)：

出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。

（5）氣體控制系統(tǒng)：

該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的，也可以獨(dú)立控制，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)的機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹

鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

（6）低真空系統(tǒng)：

該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵，可以抽真空，可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。

（7）氣料分離系統(tǒng)：

該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時(shí)，實(shí)現(xiàn)氣體與物料的分離。

（8）過(guò)濾系統(tǒng)：

該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵，保證真空泵的正常運(yùn)行。

（9）爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。

3.技術(shù)指標(biāo)：

（1）該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻；

（2）整個(gè)爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調(diào)；

（3）送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體大傾斜時(shí)，物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸之后可以手動(dòng)加料，設(shè)備可

正常運(yùn)行。

（4）爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定，不會(huì)上下左右跳動(dòng)；轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào)，能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)*運(yùn)轉(zhuǎn)(>24h)。

（5）爐子轉(zhuǎn)速，加料速度，傾斜角度，真空度，氣體流量，溫度，運(yùn)行時(shí)間，等離子體功率等參數(shù)都用數(shù)字顯示，并在運(yùn)行過(guò)程記錄設(shè)備整個(gè)

運(yùn)行軌跡及上述參數(shù)（在工控及獨(dú)立電腦上均能實(shí)現(xiàn)）；

（6）設(shè)備運(yùn)行可分為手動(dòng)模式與自動(dòng)模式；自動(dòng)模式下可實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化運(yùn)行，所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動(dòng)運(yùn)行：可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工

作，可設(shè)置多工作段不同參數(shù)，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作；